電子束焊機加工的解決方案
來源：http://www.sr100.com.cn/news_article?news_id=170 發(fā)布時間：2023-03-16
電子束焊機加工的解決方案
電子束焊機加工是在真空條件下，利用電流加熱陰極發(fā)射電子束，帶負電荷的電子束高速飛向陽極，途中經(jīng)加快極加快，并經(jīng)過電磁透鏡聚集，使能量密度十分會集，可以把一千瓦或更高的功率會集到直徑為5～10μm的斑駁上，獲得高達109W/cm2左右的功率密度。如此高的功率密度，可使任何材料被沖擊部分的溫度，在百萬分之一秒時間內(nèi)升高到攝氏幾千度以上，熱量還來不及向周圍擴散，就已把局部材料瞬時熔化、氣化直到蒸騰去除。隨著孔不斷變深，
1）能量密度高電子束聚集點范圍小，能量密度高，適合于加工精微深孔和窄縫等。且加工速度快，效率高。
2）工件變形小電子束加工是一種熱加工，主要靠瞬時蒸騰，工件很少發(fā)生應(yīng)力和變形，并且不存在工具損耗。適合于加工脆性、耐性、導(dǎo)體、半導(dǎo)體、非導(dǎo)體以及熱敏性材料。
3）加工點上化學(xué)純度高 由于整個電子束加工是在真空度1.33×10－2～1.33×10－4 Pa的真空室內(nèi)進行的，所以熔化時可以防止由于空氣的氧化作用所發(fā)生的雜質(zhì)缺點。適合于加工易氧化的金屬及合金材料，特別是要求純度高的半導(dǎo)體材料。
4）電子束焊機可控性好 電子束的強度和方位均可由電、磁的方法直接控制，便于實現(xiàn)自動化加工。
相關(guān)標簽：電子束焊機
