項 目

描 述

真空室尺寸

2600 x 1400 x 1500 (L x W X H)

焊接真空室壓力

0.05 – 1x10-5 mbar

電子槍的類型

直熱式三極槍

加速電壓

0 - 150 kV

電源功率

0 to 30,000 Watt

束流步進值

0.1 mA

電壓步進值

0.1 kV

150KV時最大束流

200 mA

束流穩定性

± 0.2%

可編程束流

CNC 控制

陰極類型

直熱型

更換陰極所需時間

5 分鐘

最短束流流出

0.1 second 秒

束流上升時間

0.1s-99.9s

束流衰減時間

0.1s-99.9s

電子束斑點直徑

≤ 0.2mm

工作距離

50 – 1500 mm

信號發生器功能

圓，橢圓，三角，長方形，正弦波，全數字

最大偏轉角

≥ 5° at 150kV

交直流偏轉

Yes

偏轉頻率

0.1-1000HZ

槍真空度

< 5x10-5 mbar

光學觀察系統

CCD高清攝像機

可編程聚焦

CNC、PLC均可控

槍真空室抽氣時間到5x10-5mbar

10分鐘